本博士论文的主要内容是研究低维超导材料(超薄膜和纳米团簇)的新奇物理性质，工作主要分为以下两个方面： 一、为了探索金属/半导体界面上可能存在的激子超导电性，设计搭建了一套超高真空低温原位制备测量系统。这台设备具有超导真空的工作环境，极限真空度达到5×10-11mbar，装备有进样系统、基片处理台、低温和室温生长台、MBE分子束外延设备、薄膜测厚监控仪、原位电阻测量台和LEED/AES表面分析装置。这套系统也可以作为其它相关研究的实验平台。 二、通过在原子尺度控制超导铅薄膜的厚度来研究其奇特的量子现象，实现了微观调制对超导电性这种宏观量子现象的调制作用。在仅有几个纳米厚度的超薄Pb薄膜中，量子尺寸效应将会非常显著，从而调制超导性质，这些调制可以通过超导转变温度Tc和上临界磁场Hc2表现出来，可以观察到锯齿状的周期性振荡行为。对于纳米尺度薄膜量子效应的研究不仅对理解低维材料的基本物理性质非常重要，而且对纳米器件和量子器件的设计和提高也有重要的意义。