多孔硅（PS）是美国贝尔实验室在1956年发现的，自此以后，PS一直被作为一种优良的基底材料。1990年，英国的科学家Canham发现了PS可以在常温下产生荧光的特性，从而使人们发现了 PS的新用途。但是普通 PS的荧光非常弱、荧光峰的宽度也很宽，这些都使 PS无法大规模的投入应用。改善PS的荧光性能有许多方法，其中，将纳米级别的具有独特性质的元素引入到PS中是最常见的一种方法。稀土（RE）是最典型的代表，这是因为纳米尺寸的RE沉积在PS的表面，在量子限制效应的作用下可以和同样数量级尺寸的硅柱相互作用，从而达到增强PS荧光的效果。本论文主要将Bragg-PS和Microcavity-PS分别与Yb相结合，对PS的荧光进行研究，实现光子晶体和引入的Yb对PS荧光进行优化的目的。本论文的主要工作和结论如下：　　1.通过电化学腐蚀n型单晶硅（电阻率0.01-0.02Ω·cm）制备出介孔的单层PS，利用电化学沉积法将在可见光区没有荧光的稀土元素（Yb）引入到PS中，研究了沉积时间对单层PS荧光的影响。结果发现，当掺杂时间控制在3分钟时荧光增强的效果最佳。　　2.通过电化学腐蚀p型单晶硅（电阻率0.03-0.06Ω·cm）制备出禁带位置覆盖PS发光峰的布拉格反射镜结构，利用电化学沉积法将稀土元素（Yb）引入到PS中，检测PS的荧光。实现了引入的稀土和布拉格结构对PS的荧光的双重增强。　　3.通过电化学腐蚀 p型单晶硅（电阻率0.03-0.06Ω·cm）制备出谐振腔位置在PS发光峰中心波长处的微腔结构，利用电化学沉积法将Yb引入到PS中，检测PS的荧光。结果发现，引入稀土后的微腔结构的PS不单压缩了荧光峰的半宽，并且增强了荧光峰的强度。