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含氢的类金刚石膜（Diamond-like Carbon）简称为DLC膜，是一种新型非晶薄膜材料。它的性能与金刚石薄膜极为相似，但其是含有大量sp2杂化键的非晶态膜，称之为含氢类金刚石碳（Diamond-like Carbon，简称DLC）膜。DLC膜具有高硬度、高弹性模量、耐磨损等特性，很适合作为耐磨涂层、高阻隔层和防腐防菌层，特别是作为红外增透膜和固体润滑膜，在航天领域受到极大重视。在摩擦学、光学、包装材料及生物医用材料等各个方面也引起了人们的广泛重视。本论文采用等离子体增强的化学气相沉