薄膜的损伤多年来一直制约着高功率激光器的发展,研究薄膜损伤的检测,给出一个好的测量方法是解决上述问题的关键所在.近年来,图象处理技术发展很快,它在检测领域中的应用也越来越广泛.如何更好地把图象处理技术应用到薄膜损伤的检测中,是一个值得研究的课题.该文在这方面做了一些工作,其主要内容如下:(1)系统地讨论了光学薄膜的激光损伤;(2)从课题的需要出发,选择了用图象处理方法测量薄膜损伤的大小,设计了整个测量系统;(3)讨论了图象处理的一些基本方法,给出了一种新的熵算子边线检测方法;(4)为了提高测量精度,用线光栅对测量系统进行了定标,对定标误差进行了分析,给出了定量分析结果;(5)用CCD摄取显微图象,对图象进行了二值化、边缘检测等处理,求出了损伤薄膜的面积;(6)用C语言编写了整个系统的测量软件,设计了各种图象处理模块,采用全汉化菜单,鼠标加键盘操作,使用十分方便;(7)图象处理测量方法与人工测量方法进行了比较,结果表明,人工测量只能对薄膜损伤的大小进行定性分析,图象处理测量对薄膜损伤的大小可能进行定量测量,而且精度比较高;(8)对测量系统提出了一些改进意见.