【摘 要】
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该论文在对纳米技术及高精度激光位移测量技术的发展现状作出全面分析研究的基础上,提出了耦合差动式干涉的新方法,并依此研制出一套结构简单、性能稳定、造价低、装调方便的
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该论文在对纳米技术及高精度激光位移测量技术的发展现状作出全面分析研究的基础上,提出了耦合差动式干涉的新方法,并依此研制出一套结构简单、性能稳定、造价低、装调方便的纳米级精度激光位移测量系统,并对相关技术进行了深入的探讨研究.该论文所研究的纳米级精度激光位移测量系统,在10mm(可扩大到50mm)测量范围内具有λ/800的分辨率和几纳米的测量精度.该技术既可满足高精度位移量的测试,又可用于高精度位移传感器的检定,大规模集成电路的定位、加工及检测,材料工业,超精密机械加工,以及用于分子测量机等工程中.
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