光刻机系统中，双工件台控制系统作为重要的子系统之一，完成工件台的控制和硅片的曝光过程控制。下位机工控机系统采用VxWorks实时操作系统执行整个流程的调度，向上与上位机PC通过网络通信连接，向下通过VME总线与VME子从板卡通信。首先，本文总体规划了工件台系统及其工作流程，重点规划了双工件台控制的14个工作步骤，位于测量区的工件台完成载片、卸片、工件台位置测量和硅片表面形貌测量；位于曝光区的工件台与照明系统、掩模台控制系统、离轴对准系统、同轴对准系统和狭缝单元等相互配合进行硅片的步进扫描工作。随后，研究了下位机PowerPC主控板卡结构，并进行BSP基本配置，同时为本板卡提供了VME总线驱动，网络驱动和Flash文件系统驱动，为在应用程序中实现VME总线读写、VME中断、网络编程、Flash文件系统操作提供了底层支持。其次，设计了软件的功能模块，主要有网络通信模块，串口通信模块，任务调度模块，VME中断服务读写模块，参数设置模块，错误处理模块。在完成功能模块的基础上，根据需求将整个下位机VxWorks软件系统划分为四个模式运行模式、测试模式、仿真动画模式、错误处理模式，完成相应的细节的设计，重点介绍了网络通信程序设计和VME中断服务程序设计。最后，为了提高了网络传输速度和稳定性，进行软件的实时性优化处理，采用了VxWorks特有的Zbuf零拷贝方式和一种网络解析算法，经过测试网络通信的速率和稳定性得到了很大提高。同时经过VxWorks内存规划和Flash文件系统读写方案的提出为本项目中大片轨迹数据的处理提供了依据。通过搭建实验环境调试运动台，验证了软件系统的稳定性和实时性，达到了控制精度的要求。