【摘 要】
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本文内容包括： 1.利用原子力显微镜研究640C初始覆盖Si层时(0-4.2A)sJOe量子点的形貌转变过程，实验发现穹形量子点逐渐转化为金字塔形量子点，表明640℃覆盖Si时SiGe量子点的
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本文内容包括：
1.利用原子力显微镜研究640C初始覆盖Si层时(0-4.2A)sJOe量子点的形貌转变过程，实验发现穹形量子点逐渐转化为金字塔形量子点，表明640℃覆盖Si时SiGe量子点的形貌转变是一个动力学过程。
2.利用原子力显微镜和一种化学腐蚀方法研究640℃初始覆盖Si层时(0-4.2A)SiGe量子点内6﹪Ge等组分面的演化。从弹性常数各向异性的角度讨论了覆盖si时SiGe金字塔形量子点内部沿金字塔底部对角线富Si的起因。
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