伴随现代工业对制造业精度要求的日益增高，机械零件的加工精度成为制造业的生命线，数控机床是实际生产加工过程中所使用的工作母机，其精度是制造业中机械零件精度的根本保证，数控机床的加工精度也越来越被相关技术人员看重。采用何种方式使机床的加工精度长时间维持在要求的范围内，是提高我国数控机床综合性能和国际知名度的重要方式。　　在实际生产加工过程中，几何误差对机床精度的影响程度十分巨大，尤其在一些精度要求十分高的加工作业中，几何误差的不良影响更加不容忽视，因此，通过控制机床自身的几何误差，从而促使机床加工过程中的精度得到提高就具有重要的可行性，目前，国内外相关学者在通过控制几何误差来提高机床在实际生产加工过程中精度及其可靠性方面进行了大量的探索工作。　　在该方面研究中，如何识别对数控机床加工精度及其可靠性影响较大的几何误差项，成为了研究过程中关键的难点。因为几何误差种类繁多，而且它们之间还具有相互耦合作用，对机床实际生产加工过程中的精度也十分复杂，相互耦合的几何误差是降低机床精度的主要原因，但是，各项几何误差参数对机床加工精度的影响程度是互不相同的，为了实现在保证加工精度的同时最大水平上降低机床的设计制造成本，因此必须对各个几何误差项的对加工精度的影响水平进行分析。　　本文使用双频激光干涉仪对机床的误差数据进行采集，在机床误差模型的基础上，通过傅里叶幅值敏感度分析方法对各个几何误差进行全局敏感度分析研究，获得各个几何误差项对机床加工精度的作用规律，实现高灵敏度误差源的识别和定位，获取影响机床加工精度的主要几何误差项。　　随着现在工业生产节奏的不断加快，使机床精度长时间保持不变就具有巨大的经济价值，加工精度可靠性已成为机床的核心性能，也是限制国产高精度机床研发的技术难点之一，为了对机床的加工精度可靠性进行研究，本文提出了基于旋量理论和快速马尔可夫链数值模拟方法的机床加工精度可靠性敏感度分析方法，通过本文提出的方法可以获得对机床加工精度可靠性影响较大的关键几何误差项，可为后期机床精度控制及其可靠性优化设计提供合理的依据。　　本文的研究为提高我国高精度数控机床的加工精度及其可靠性提供方法支持，此外，在机床精度改进和优化设计方面具有重要的理论与实际意义。