本文以微型悬臂叠层芯片为研究对象,使用压电陶瓷作为激励底座对微型悬臂叠层芯片进行激励,使用Agilent33120A信号发生器驱动压电陶瓷,使用双探头激光多普勒测振仪同时对叠层芯片的底座和悬臂端进行测试。建立叠层芯片的动力学模型,近似求解叠层芯片的等效模态参数。本文的工作主要包括：(1)以经典悬臂梁模型为基础,建立微型悬臂叠层芯片的动力学模型,导出悬臂的频率响应函数,分析其幅频特性和相频特性,指出底座激励下的悬臂梁是复模态振动,则悬臂和底座的相位差存在一个复杂的关系,使用实模态模型对其分析时,须对相位差进行补偿,提出补偿方法,指出复模态中频率响应函数的奈奎斯特圆的圆心有可能落在任意象限,并由实验验证。(2)分别使用稳态扫频激励、正向动态扫频激励和逆向动态扫频激励对叠层芯片进行激励,三种激励下芯片悬臂端与底座的速度频谱曲线和相位差曲线高度吻合,说明叠层芯片悬臂端与底座之间的幅频特性是线性关系。对比两悬臂端和底座的速度频谱曲线分析两悬臂与底座的相互作用关系,并分析两悬臂之间的相互影响,取悬臂与底座速度幅值比获得悬臂的无量纲频率响应曲线,获得悬臂的幅频特性曲线,并得到准确的共振频率。(3)使用希尔伯特变换获得悬臂叠层芯片悬臂端与底座的相位差曲线,对比三种激励方式所得的相位差曲线,验证复模态相位差补偿方法,求解相位差补偿系数,绘制悬臂的奈奎斯特圆,奈奎斯特圆圆心所在的相角与共振频率处的相位差吻合。(4)拟合叠层芯片动力学模型的频率响应函数获得悬臂的固有频率和阻尼比,对叠层芯片上层芯片振动面进行扫描,分析叠层芯片悬臂端的振动为二维振动,使用经典悬臂梁模型近似求解叠层芯片两悬臂的动力学等效参数。