随着我国物联网、人工智能等国家重大战略的不断推进,对传感器的需求和要求不断提升。纳米材料因其独特的结构特点,具有很多不同于块体材料的新奇物理、化学特性,将新型氧化物、碳基等纳米材料用作敏感材料来开发高性能的纳米传感器件具有很重要的学术和产业价值。相对于大面积可控生长的纳米结构阵列,分立纳米结构具有与现有先进的半导体器件设计与制造技术更高的集成性。在具体器件构建中,需要对纳米材料高效操控,有选择地将其组装到预先设定的位置。目前,介电泳被认为是一种简单而高效的纳米组装技术而被广泛的研究和应用。湿度与温度是与生产、生活关系密切的检测指标。CuO是一种重要的P型半导体材料,近年来因其纳米结构潜在的传感应用而受到学术与产业界的广泛关注。本论文工作采用氧化铜纳米结构为敏感材料,研究传感结构介电泳组装构建,开展湿度/温度传感测试;通过对比实验设计,深入讨论传感机理,探讨性能提升技术路径。主要阐述了以下:通过水热法调控制备三种不同尺寸的氧化铜片状纳米结构,并进行形貌与结构的表征测试。通过各个介电泳操控参数摸索,实现所制备CuO纳米结构在预先设计制作的Ti/Au电极间的定位组装。以此为基础,构建CuO纳米传感结构,开展灵敏度、重复性及迟滞等湿度/温度传感特性测试研究,结果表明所制备的CuO纳米结构具有很好的湿/温度传感特性。基于三种不同尺寸CuO纳米结构所构建传感结构的湿度传感特性对比分析,结合多层吸附理论模型,深入讨论了CuO纳米敏感材料尺寸对湿度传感特性的影响,结果表明通过对依赖于敏感材料尺寸的比表面积和表面原子活性的调控,可以有效的改善与提升纳米湿度传感器件的灵敏度等传感性能。