本文对微楔形压头作用下的薄膜／基体脱层实验进行应力分析,采用有限元法研究了不同楔形角、压入深度、薄膜厚度、脱层尺寸、杨氏模量和屈服强度对压痕应力的影响。分析了压头作用和压头移除后的膜中应力,这两种应力分别为加载压痕应力和卸载压痕应力。论文主要工作如下：1)对于薄膜为理想弹塑性材料,根据有限元计算结果,由压痕应力值随压入深度的变化曲线,拟合给出加载压痕应力和卸载压痕应力的解析解公式。研究发现,在压痕应力-压入深度关系中存在一个临界压入深度,当压入深度小于临界压入深度时,薄膜中的压痕应力是压入深度的二次函数,但当压入深度大于这一临界值时,压痕应力为一常数。基于新的压痕应力公式,计算给出脱层界面裂纹的能量释放率。2)在理想弹塑性模型的基础上,考虑薄膜为双线性应力强化材料的情形,研究强化系数的影响,计算并拟合给出加载压痕应力随各参数变化的半解析解公式。研究了含残余应力的影响。3)对于薄膜为理想弹塑性等厚双层膜,在单层膜的基础上,数值计算上下等厚薄膜弹性错配系数α分别为-0.5和0.5的情况,得出不同参数下的压痕应力值。参考单层膜拟合给出适用于理想弹塑性等厚双层膜的压痕应力解析式。