基于表面等离子体共振技术的微小转角传感器研究

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该文系统分析了表面等离子体共振(SPR)的相位和振幅特征.根据共振角附近SPR的振幅和相位对入射角的高度敏感性,提出了基于表面等离子体共振原理进行微小角度测量的原理,它具有测量分辨率高和体积紧凑的优点.该原理采用角度调制方法检测SPR反射光的振 幅和相位改变,由此知道导致改变的入射角的变化量.这就是利用表面等离子体共振提高测角分辨率的基本思想.基于SPR和角度调制的测角分辨率可以达到10<-8>弧度的数量级.针对系统的要求,设计了角度调制器、光学系统和信号检测系统,建立了高分辨率的角度测量实验装置.进行了基于SPR的角度调制高分辨率测角实验,实验结果:测量分辨率达到8.3×10<-8>弧度,长期稳定性偏差为2.5×10<-7>弧度,线性范围为1.2×10<-3>弧度.理论 和实验表明,该文提出的基于SPR的测角原理在实现分辨率高、体积紧凑的角度测量上是行 之有效的.
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