随着电子信息技术、生物医疗技术的不断发展,硬脆性材料由于其良好的机械、物理性能,得到了越来越广泛的应用,对其加工要求也越来越高。现有的游离磨料和固结磨料研磨技术,对硬脆性薄片零件加工过后仍然存在较大的表面损伤。因此,开发一种高效率、低损伤的研磨工具,对提高硬脆性材料的加工质量,降低加工成本,促进其在不同领域的应用具有重要的意义。本文提出了一种柔性的橡胶结合剂研磨盘,用于硬脆性薄片材料的研磨,并对磨盘的制备方法、研磨效果、研磨机理进行了研究。本文的主要内容包括:（1）提出一种柔性橡胶结合剂研磨盘用于硬脆性薄片零件研磨加工,磨具表面出露高度较大的磨粒可以被压缩进入弹性的结合剂中,因而使被磨工件表面的划痕较浅,保证被磨工件表面获得较低的表面粗糙度和较小的表面损伤。（2）对磨具的制备工艺进行了研究,并制备了不同配合剂用量、磨粒浓度、磨粒粒度的橡胶磨块,对磨块中磨粒间距、磨粒密度、磨块硬度、磨块弹性模量进行了检测。然后用不同配方的研磨盘开展了蓝宝石单面研磨实验,根据研磨结果确定了配合剂使用配方一,磨粒浓度为200%,磨粒粒度为230/270时研磨效果较好。（3）使用优化配方制备了橡胶结合剂双面研磨盘,采用Al₂O₃砂轮和Al₂O₃修整片对双面研磨盘进行修整,然后开展蓝宝石双面研磨实验,并对橡胶结合剂双面研磨盘研磨效果进行评价。结果表明,使用橡胶结合剂研磨盘对蓝宝石进行研磨加工后,能够得到较好的表面质量,研磨后晶片的表面粗糙度可以达到172nm左右,材料去除率可达713nm/min左右,橡胶结合剂研磨盘可以较好地应用于硬脆性材料的研磨加工。（4）橡胶结合剂使用Mooney-Rivlin应变能密度函数模型,对磨粒受到加工压力时运动情况进行仿真。然后简化研磨过程,根据磨粒出露高度分布对磨粒进行分组,计算研磨过程中的有效磨粒数;基于磨粒和工件接触模型,根据受力平衡原理,研究磨粒在结合剂中下陷深度和切入工件深度,并与仿真结果作对比;根据轮廓算数平均偏差Ra的定义,建立了表面粗糙度理论模型以及材料去除率模型。将模型预测值与单面研磨实验值对比后发现趋势一致,证明模型的可靠性。