本论文所研究的多晶硅熔炼炉主要由真空控制系统,温度控制系统和机械传动控制系统三部分组成。真空控制系统主要负责保持炉体内部真空度达到工作要求。温度控制系统主要负责控制炉内温度按照设定的温度曲线运行。机械传动部分负责炉底散热板的精确位置控制。这三个部分的相互协调合作共同保证了多晶硅长晶过程顺利完成。目前,可编程控制器(PLC)和组态应用以及通讯技术在工业控制领域十分热门。由于PLC的高速发展,PLC的优点越来越突出,比如,应用方便、可靠性高、抗电磁干扰性能好,环境适应性强、完善和成熟的工控网络体系,这使得PLC在工业自动控制过程中得到了越来越广泛的应用。组态软件作为一个开放性的软件平台,可以使用户根据自己需要搭建特定功能的人机界面,用户通过人机界面和PLC可以直观简便地控制自动化设备。本系统中由PLC和组态软件共同完成现场设备数据的采集以及对阀门、伺服电机、中频电源等设备的控制。炉底的散热板的位置控制通过伺服电机完成。利用组态软件Kingview良好的人机界面使技术操作人员可以在工控机上可以形象直观的观察到系统的工艺流程、设备的通断状态、温度的实时值、伺服电机的启停状态以及设备的报警状态;同时也可以对现场的阀门和电机进行控制以及监控散热板行进位置。多晶硅真空熔炼炉控制系统核心采用PLC控制,包括人机界面,伺服电机,检测等部分。本文介绍了加热炉的PLC控制系统的总体设计、控制程序设计、PLC与上位机接口的通信方案设计、计算机从外部仪表读取数据的程序设计等。