通过全光谱拟合法确定薄膜光学常数和厚度

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随着薄膜及薄膜器件在科研和实际应用中的普及,简单而精确地测量薄膜的光学常数和厚度成为一个重要的课题。本文介绍了应用全光谱拟合进行薄膜参数测量的方法,详细描述了几种常用的全局搜索优化算法应用于薄膜测量的原理要点、难点和设计思路,并通过程序设计对该方法进行测试和改进。全光谱拟合法测量光学薄膜的实验系统主要由光源、光谱仪、光学探头和计算机等组成。应用全局搜索优化算法的思想编写程序软件,实现对系统采集到的不同薄膜的全光谱透过率/反射率曲线的拟合,并在拟合完成时寻优获得待测薄膜的厚度、折射率和消光系数等光学参
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