摆臂式轮廓仪工件转台误差分离技术研究

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随着大型光学系统在天文观测、空间目标识别等领域的应用越来越广泛,大型光学镜面的加工和检测面临着很大的挑战。传统的面形检测工具,存在测量行程不足,测量环境要求高等缺点,无法满足当前大型光学镜面检测需求。摆臂式轮廓仪具有动态范围广、测量精度高和在位测量的优点,可以直接架在光学加工机床旁,将加工机床转台作为工件转台,进行镜面面形的在位检测,提高镜面加工效率,避免搬运风险。但是加工机床转台运动误差较大,影响面形的测量精度,使面形测量结果不能正确反映镜面的实际面形。本论文的主要任务是利用双测头数据拼接技术,实现工件转台的误差分离,去除工件转台角晃动和轴向窜动引入的测量误差,提高摆臂式轮廓仪在位测量精度。本论文的主要研究工作包括如下几个方面:(1)研究了摆臂式轮廓仪系统结构和工作原理,对摆臂式轮廓仪的误差组成进行了归纳并建立了误差模型,分析了各项误差对测量结果的影响,并给出了相应的误差去除方法。(2)给出了双测头数据拼接技术的原理和数据拼接步骤,分析了双测头数据拼接技术的扫描轨迹设计方法,编写了扫描轨迹生成软件。(3)根据实际实验仪器的精度,给出了不同精度工件转台扫描数据拼接前后面形仿真结果,验证了双测头扫描数据拼接技术的可行性。(4)搭建了双测头摆臂式轮廓仪测量系统。详细介绍了实验装置的各组成部件和数据处理软件,利用高低不同精度的工件转台测量两块Φ300mm平面镜面形,验证双测头数据拼接技术的可行性,实验结果表明双测头数据拼接技术可以有效去除工件转台误差。(5)给出了摆臂式轮廓仪的误差模型和测量不确定度,利用标准平面镜对摆臂式轮廓仪系统误差进行标定,介绍了摆臂式轮廓仪在位测量的工程应用实例。
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