纳米金刚石薄膜在硅衬底上的形核与生长

来源 :北京大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tintin123456

【摘要】

：

该论文简要回顾了化学气相沉积(CVD)金刚石薄膜研究的历史沿革和最新进展,并在此基础上着重介绍了作者用热丝CVD法研究硅衬底上纳米金刚石薄膜的形核生长方面所做的工作.

【作者】

：

张帆

【机构】

：

北京大学

【出处】

：

北京大学

【发表日期】

：

2000年期

【关键词】

：

热丝CVD法纳米金刚石薄膜氩气

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