近年来,微型泵的研究与应用已经成为流体精密驱动领域的热门研究方向,而运用压电振子作为驱动部件的压电泵可以通过振子的弯曲变形,并配合单向阀实现流体的单向传输。本文设计了一种基于悬臂梁阀的微型压电泵,并进行了相关理论研究与实验测试。对压电振子的相关参数进行了仿真与实验测试,加工装配压电泵样机并测试其输出性能,优化压电泵结构,进行理论分析与实验测试。具体工作内容如下:根据设计要求设计了压电泵各零部件的结构,计算出满足流量输出要求所需要的振子中心最小位移并仿真确认振子选型的正确性;考虑了加工技术和泵腔压缩比设计了泵基座的泵腔高度和出/入流孔直径;进行阀片的模态仿真分析,确定阀片尺寸以及阀片有开度情况下所能通过的最大流量是否满足设计要求。进行了压电振子的干模态分析和湿模态分析,确定了压电振子的振型和共振频率。对压电振子进行阻抗分析验证仿真正确性。搭建实验平台对影响压电振子中心振幅的因素进行了实验研究。设计、制造、装配出压电泵样机并进行大量实验,测试并分析了激励信号的电压、频率对压电泵输出性能的影响。探究测试并分析了压电泵泵腔高度、阀孔直径和阀孔结构对压电泵输出性能的影响。本文根据压电泵预设要求（输出流量Q₀≥1.5 ml/min,输出压力P₀≥ 6 kPa,体积V₀≤Φ25mm× 8mm,质量m₀≤2.5g）设计、仿真、加工、装配出压电泵。通过实验验证检测压电泵的输出性能(Q_max=1.885 ml/min,P_max=6.83kPa,V=Φ20mm×5mm,m=1.8g)满足设计要求,并探究了压电泵结构参数对泵性能的影响。