静电感应晶闸管SITH(Static Induction Thyristor)是一种新型功率器件,与其它电力器件相比有一系列突出的优点:首先是用栅极可强迫关断,同时具有高耐压、大电流、低压降、低功耗、高速度、优良的动态性能等。应用前景十分广阔,因而受到人们的广泛关注。本论文的研究工作是结合兰州市十五科技攻关项目“电力静电感应器件的研制”而展开的,主要内容如下:论文系统地阐述了SITH的作用理论,介绍了SITH的结构、I-V特性、电流传输机制及势垒的形成。对于SITH的负阻转折特性进行了研究,分析了导致负阻现象产生的主要物理效应。分步刻槽法的应用,实现了隔断槽、台面槽与栅电极孔刻蚀,深度各不相同却能同时刻蚀,且深槽刻蚀逐步加深,不必一次刻蚀到要求的深度,更有利于保护管芯表面和槽台造型。通过实验选择腐蚀液的配比,并确定了最佳的刻蚀深度和工艺。制定了SITH的工艺流程,数次的制管实验结果,给出了正常特性所满足的工艺条件,该结果距离理想的I-V特性仅需要微调。