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不同厚度硅片相关论文
不同厚度及铂镀层硅片激光弯曲试验研究
在微电子/光电子技术的发展过程中,微制造领域器件已经不仅仅满足在平面尺寸的制造,同时增加了对复杂曲面、特别是翘曲微型梁等的......
学位
激光弯曲
不同厚度硅片
模拟分析
电学性能
铂镀层材料
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