本文阐述了一种新型的石英振梁加速度计，其主要特点在于采用了一体的石英单梁结构，通过简单的化学刻蚀就可以得到。该结构通过优化设计使由一个质量块、一根振梁和两个挠性铰链组成的活动部分具有很好的振动隔离效果。通过一个挠性的隔离框结构实现了与安装框的振动隔离。一体式结构小巧简单易于制造，也非常适合安装和小型化。其采用MEMS工艺进行加工，便于低成本批量生产。因此就避免了传统的双梁石英振梁加速度计结构工艺复杂、芯片和基座装配难度大、加工成品率低的缺点。 本文详细介绍了石英振梁加速度计的设计理论，包括：石英晶体的压电效应、石英晶体的力—频特性以及力—频灵敏度及其温度特性等，并介绍了石英振梁加速度计的静态数学模型及实验方法。在结构设计阶段运用有限元方法对加速度计进行了模态分析、动态响应分析、应力分析以及压电分析，仿真验证了加速度计的谐振频率、动态响应、结构屈服应力以及导电带的合理设计。通过有限元模拟仿真对加速度计的关键结构参数进行了优化设计，确定了合理的关键尺寸。 在仿真分析基础上，完成了石英振梁加速度计的设计及关键微加工工艺研究，包括：单步双面多层光刻工艺、石英晶体各向异性刻蚀工艺等。这些关键工艺的突破使该类加速度计结构简单、便于批量生产的优点得到充分体现。本项目所突破的微加工工艺技术处于国内领先水平。 本文还给出了实际的石英振梁加速度计样机的性能测试结果。测试结果表明，样机达到预期的设计技术指标，即，测量范围：±50g，分辨率：≤1×10^-3g，标度因数稳定性：≤300ppm。