近年来,由于半导体制造业蓬勃发展所带来的高利润和高回报,使得最能反映半导体生产制造业的可重入生产系统成为当下研究的热点。在针对可重入生产系统建模的研究中,以往的建模方法在面对可重入生产系统设备多、流程复杂和高重入性特点时,往往显得束手无策。因此采用新的建模方法来对可重入生产系统进行建模就显得尤为重要。针对可重入生产的上述特点,本文提出了一种面向对象混合Petri网的建模方式,这种模型将面向对象思想与Petri网理论完美的结合在一起,使之既具有面向对象的抽象、封装思想;又具有Petri网严谨的数字和图形的表达形式,因而能够成功地对可重入生产系统进行建模研究。本文所作的主要工作如下:(1)详细描述了国内外学者以往针对可重入生产系统建模所采用的方式和方法,相应地分析其各自的优缺点,从而引出采用面向对象混合Petri网建模的优点和意义。(2)将时间、规则、着色等变量引入面向对象基础Petri网模型中,形成新的面向对象混合Petri网模型,并采用这个模型对半导体制造业中典型的可重入生产系统——晶圆制造过程进行建模研究。在建模过程中,先根据现实生产系统的流程,将晶圆的具体加工过程模块封装起来,并结合资源与设备的相关配置要求,提出局部的面向对象混合Petri网模型;再将这些局部模型按照总工艺的流程要求进行关联,从而构建了晶圆制造过程的总模型。采用这种建模的方式可以有效地降低模型的复杂程度,大大增强模型的可用性。最后再对建立起来的模型进行相应的性质研究,以证明其有无死锁,是否成立。(3)针对可重入生产系统而建立起来的模型,采用遗传算法对其进行编程求解,即先根据具体的情况,列出相应的问题,并写出其数学表达式和求解过程,再将整个模型用代码的形式表示出来,随机虚拟出一组资源,使其在该代码中运行,并通过运行的结果,画出相应的甘特图,以此来验证模型的可行性的。