【摘 要】
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该文采用物理汽相沉积(PVD)的方法,在浮法玻璃上沉积多层金属氧化物低辐射薄膜.通过正交实验法对Al<,2>O<,3>系、SiO系和TiO<,2>系多层膜进行优化筛选,确定了以TiO<,2>和Ag 为主要构成的低辐射薄膜结构.该文利用分光仪、AFM、TEM等测量、分析,对TiO<,2>系低辐射薄膜的光学性能及多层膜的微观结构进行了详细研究.
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该文采用物理汽相沉积(PVD)的方法,在浮法玻璃上沉积多层金属氧化物低辐射薄膜.通过正交实验法对Al<,2>O<,3>系、SiO系和TiO<,2>系多层膜进行优化筛选,确定了以TiO<,2>和Ag 为主要构成的低辐射薄膜结构.该文利用分光仪、AFM、TEM等测量、分析,对TiO<,2>系低辐射薄膜的光学性能及多层膜的微观结构进行了详细研究.
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