相对于经典的计算机,量子计算机有着很大的优势,在众多实现量子计算的方案中,固态方式的超导量子比特是最具可能性的。超导量子比特与微加工工艺相兼容,而且能够与多种微波腔、光腔和机械振子系统相结合形成耦合量子系统。同时,可用于研究量子机理和应用与量子计算的微机械振子也由于其质量小、品质因素高和损耗低的特点,受到越来越多的关注,因此国际上对此开展了广泛的研究,并取得了丰富的成果。本文以微机械振子为主要研究对象,针对其用于和超导量子比特进行耦合的目的,开发了相应的制备工艺,并对其在微波、光场驱动下的特性做了详细地研究。本文的主要工作可以概括为以下几个方面:1、摸索出一套制备基于悬空电容的机械振子的微加工制备流程,利用牺牲层制备出悬空结构,并将悬空电容分别与螺旋电感和四分之一波长谐振器耦合形成超导谐振电路,最终制备出两种样品。2、在稀释制冷机的低温环境下,利用微波驱动两种基于悬空电容的超导谐振电路,使用矢量网路分析仪测量出悬空电容耦合结构的传输特性曲线S21,使用频谱分析仪测量出机械振子的边带效应。3、设计了悬空电容的对光装置,包括对光支撑装置、光纤移动装置和承载悬空电容的无氧铜腔体,利用CCD对光移动平台和所设计的对光装置,完成了悬空电容的对光流程,并在极低温下,对机械振子与光的耦合做了测量。4、设计了悬空电容与量子比特的耦合结构和工艺流程,并完成了样品的制备。