金属氧化物薄膜和金属团簇/金属氧化物薄膜体系在半导体光电材料、催化反应、气体传感器、金属防腐、磁性存储材料等方面有广泛和重要的应用价值，因此对金属氧化物薄膜和金属团簇/金属氧化物薄膜体系的基础和创新研究具有重大意义。本文利用了高分辨电子能量损失谱(HREELS)、紫外光电子能谱(UPS)、俄歇电子能谱(AES)、X射线光电子能谱(XPS)和低能电子衍射(LEED)等超高真空表面分析技术原位研究了金属氧化物薄膜的生长及其水吸附行为。　　 通过氧化预沉积在Mo(100)表面的锌膜的方法制备了氧化锌薄膜，研究了氧化锌薄膜生长条件对其化学组分的影响，发现符合化学计量比的ZnO薄膜的形成需要适中的温度和超过某一阈值的O2压强，在3×104 Pa O2气氛中，在400 K退火温度下获得了符合化学剂量比的ZnO薄膜。氧化锌材料的Fuchs-Kliewer声子频率随氧含量的降低产生红移。这项研究对于控制ZnO材料的化学组分有一定的指导意义。　　 研究了ZnO薄膜在Fe2O3和MgO表面的生长。首次报导了Fe2O3缓冲层相对于传统MgO缓冲层对ZnO薄膜质量的促进作用。这一研究成果对改进ZnO材料生长工艺有较大的意义。　　 研究了水在Pd/MgO(100)/Mo(100)体系表面的吸附行为。发现Pd/MgO(100)/Mo(100)表面低覆盖度的Pd的价带结构呈现非金属特性，展现出Pd颗粒的量子尺寸效应。在Pd/MgO(100)/Mo(100)表面解离吸附的水量依赖于Pd的覆盖度，其中0.5 MLE Pd覆盖度最利于水的解离。Pd/MgO(100)/Mo(100)体系表面吸附水的解离对Pd覆盖度的依赖归结为MgO(100)薄膜表面的缺陷和Pd颗粒的量子尺寸效应对体系表面化学活性的改变。