光子筛优化设计及仿真研究

被引量 : 8次 | 上传用户：Sherryduandian

【摘要】

：

本研究论文对光子筛这一新型光学元件做了深入的探讨。光子筛是一种新型的衍射光学元件。它可以对软X射线和极紫外光(EUV)进行聚焦,其聚焦光斑直径非常小,具有超瑞利衍射极限的聚焦特性;能有效抑制波带片聚焦时的高阶衍射和旁瓣效应;体积小,重量轻。可被应用于X射线显微镜替代波带片成为关键元件,应用于光刻、超大孔径空间望远镜、自动导航装置的仿生眼、THz波全息术等。本文对光子筛做了比较系统的研究,其研究内容

【作者】

：

韦玮

【机构】

：

中国科学技术大学

【发表日期】

：

2009年05期

【关键词】

：

衍射光学光子筛菲涅尔-基尔霍夫理论光学聚焦

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