266nm紫外激光具有高光子能量、高聚焦能力和高的空间成像分辨率,非常适合加工微电子器件。本文以高效获取连续266nm激光输出为目标对266nm全固态紫外激光器的关键技术进行了理论和实验研究,并获取了连续266nm激光。主要研究内容概括如下:1.利用简化四能级激光速率方程粗略推算端面泵浦激光器输出功率与泵浦功率关系。2.基于稳态热传导方程,采用更符合实际热传导过程的对流边界条件,利用有限差分法模拟增益介质在泵浦光抽运、侧面水冷却条件下的三维温度分布,分析热效应对激光运转的负面影响。3.运用稳定谐振腔理论讨论热不灵敏稳定腔的设计原则,通过在谐振腔中插入透镜获得了良好的热补偿效果。4.根据相位匹配条件和非线性极化波方程推导KTP、BBO的倍频过程相关参数,研究弱功率基频光光束质量与倍频效率、最佳倍频晶体长度的关系。阐述了比以往研究更符合真实物理过程的外环型腔对基频光增强的机理。5.通过对端面泵浦532nm DPL腔外透镜聚焦倍频的实验研究,获得了连续266nm激光输出,其功率宏观不可测。