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微机械电容式加速度计是一种典型的利用表面微加工( Surface Micromachining)技术设计制造的惯性器件,因其高精度、良好稳定性以及与集成电路(IC)工艺技术良好兼容等优点,被广泛的应用于军事和民用各个领域,世界各国的科研机构多年来对于采用表面微加工技术的微机械电容式加速度计设计制造进行了大量的研究,取得了丰硕的成果。我国在这一领域的研发力度相对滞后,因此对于微机械电容式加速度计进行深入研究显得非常必要。本文围绕着疏齿式微电容加速度计的制备,分析了微机械电容式加速度计的力学模