面向微量试剂分配的压电叠堆泵的研究

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微量、快速、精确的试剂分配是生物、制药、化学实验、电子封装等领域不可或缺的技术手段。压电驱动的试剂分配装置具有较大的输出压力,并可根据输入电压信号的幅值和频率实现流量的控制,具有体积小、易集成、便于小型化、容易控制等特点,从而实现试剂分配的高精度、微量化和自动化。对其所开展的研究不仅对微量试剂分配技术的发展具有积极意义,具有重要的学术价值,同时也能在不同领域推广微量分配技术的应用。  本文对压电叠堆泵作了较全面的理论分析。利用解析法和有限元仿真分析法对泵的出口、振动膜、位移放大机构、整体式开启阀的静态、动态特性进行了较为深入的分析和研究,并分析了液滴形成判据和孔口出流方式。为今后高性能压电叠堆泵的设计提供了理论依据。  在理论分析的基础上结合试剂分配的要求,提出了压电叠堆泵的设计方  案,确定了泵的具体结构尺寸。根据实际的加工情况和工艺要求对压电叠堆泵结构进行了优化,采用迭片技术制作了通过菱形微位移放大机构放大压电叠堆输出位移,薄膜传递压力,整体式开启阀控制出入口开合,微喷口形成微滴的非接触式微量试剂分配泵样机。  建立了压电叠堆泵的驱动控制系统,测试了所选用的压电叠堆陶瓷的输出特性,同时对微位移放大机构的静态和动态特性进行了测试和分析。  最后开展了压电叠堆泵实验研究。对比分析了正弦波、方波和三角波信号对压电叠堆泵工作性能的影响规律;研究了压电叠堆泵的输出流量、压力分别同电压及频率的关系,并测试了压电叠堆泵的输出流量的重复精度;对不同类型单向阀和不同直径出口对压电叠堆泵性能的影响进行了研究;进行了试剂分配实验,测试了试剂分配的精度。这些实验研究为压电叠堆泵的应用及进一步优化提供了参考和依据。
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