【摘 要】
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微晶硅薄膜太阳能电池没有非晶硅电池的S-W效应.与非晶硅电池构成叠成,不但可以拓展电池的光谱响应范围,还可以提高电池的稳定性.基于这个目的,作者采用RF-和VHF-PECVD技术沉
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微晶硅薄膜太阳能电池没有非晶硅电池的S-W效应.与非晶硅电池构成叠成,不但可以拓展电池的光谱响应范围,还可以提高电池的稳定性.基于这个目的,作者采用RF-和VHF-PECVD技术沉积微晶硅材料和电池.该论文主要进行了如下几方面的工作:在PIN型微晶硅薄膜太阳能电池中,P层作为电池的窗口层,对电池性能有重要影响.P型硅材料具有高的电导率,宽的光学带隙,是微晶硅薄膜太阳能电池理想的窗口层材料.实验表明增大氢稀释第可使薄膜材料从非晶态向微晶态转变;在高氢稀释情况下,可获得纳米硅薄膜材料.作者采用在SnO<,2>上沉积一层薄ZnO薄膜(20-30nm),构成ZnO/SnO<,2>复合薄膜,既保持了SnO<,2>原有的高绒度、低电阻率和高透过率;又因为耐H轰击,而适用于作为PIN型微晶硅薄膜电池的前电极.在上面研究的基础上,作者初步研究了微晶硅薄膜电池的沉积工艺.研究了非晶电池(P-a-SiC:H/I-a-Si:H/n-μc-Si:H)和微晶电池(P-a-SiC:H/I-μc-Si:H-μc-Si:H)的不同;用不同的P层材料(P-a-SiC:H和P-nc-Si:H)比较研究了不同P层材料对微晶硅电池性能的影响;以及P/I界面H处理对微晶硅电池性能的影响.
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