氮化硅陶瓷（Si3N4）因其出色的力学性能和热稳定性,在室温和高温下都具有良好的应用前景。但由于其具有脆性断裂的特点,加工性能差,在制备结构复杂的氮化硅部件方面仍然面临技术上的挑战。利用活性金属钎焊技术将陶瓷-金属进行连接能在一定程度上解决这一问题。但Si3N4与金属之间的较大的热物理性能差异（尤其是热膨胀系数）使得钎焊后的接头中存在较大残余应力,导致接头力学性能变差。因此缓解接头残余应力对提高陶瓷-金属接头强度至关重要。本文以缓解接头残余应力从而提高接头力学性能为目的,通过在Ag-Cu-Ti中添加一定含量的增强相Mo颗粒制备复合钎料,对Si3N4陶瓷和316L不锈钢进行钎焊。探究钎焊工艺参数（钎焊温度和保温时间）和钎料成分（Mo的含量和Ti元素的补偿）对接头组织及性能影响。研究结果表明随着钎焊温度、保温时间、及钎料中Ti含量的增加,界面反应层厚度增加,接头剪切强度先增加后降低;且Ti含量的增加还会引起不利于接头力学性能的Cu-Ti相的增加。随着Mop含量增加,Si3N4一侧的界面反应层厚度变薄,接头中Cu-Ti金属间化合物逐渐增多,接头剪切强度呈先升高后减小的趋势。最终,在900°C保温15min的条件下使用(Ag72Cu28)97Ti3+5vol.%Mop的复合钎料钎焊Si3N4/316L的接头性能最好,剪切强度可达110.8MPa。在使用复合钎料的基础上添加缓冲层（Ag和Ni中间层）,以达到进一步缓解接头残余应力的作用。使用(Ag72Cu28)97Ti3+5vol.%Mop/Ag/Ag Cu复合中间层钎焊Si3N4/316L时,接头强度随Ag厚度增加呈先升后降的趋势。Ag厚度为700μm时接头剪切强度高达205.4MPa,这主要是由于Ag层能在缓解接头应力的同时还能阻隔Ti和Fe、Ni反应生成不利于接头性能的脆性金属间化合物,因此能够大幅度提高接头强度。使用(Ag72Cu28)97Ti3+5vol.%Mop/Ni/Ag Cu复合中间层钎焊Si3N4/316L时,接头强度随Ni厚度的增加先略微上升再降低,当Ni层厚度为200μm时剪切强度达到最高值118MPa。整体而言,添加中间层较未使用中间层的接头力学性能更好。利用有限元分析软件ABAQUS对接头残余应力的分布进行计算,探究复合钎料中Mop的含量、复合钎料的厚度、及添加的中间层的厚度对接头残余应力分布的影响。结果表明接头残余应力主要集中在Si3N4靠近钎缝的区域,接头残余应力随着Mop含量先增加后减小;Si3N4近缝处的棱角应力随着复合钎料厚度和中间层厚度增大而降低,这和接头剪切试验所得结论基本吻合。