【摘 要】
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加速度计是惯性测量和导航系统的主要惯性元件之一。随着微电子加工技术向惯性技术的渗透，利用体硅微机械工艺制作的电容式加速度传感器具有制作工艺简单等特点，已经受到广泛的
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加速度计是惯性测量和导航系统的主要惯性元件之一。随着微电子加工技术向惯性技术的渗透，利用体硅微机械工艺制作的电容式加速度传感器具有制作工艺简单等特点，已经受到广泛的关注。 由于硅微机械加速度传感器上述的巨大优势，在各个领域得到广泛的应用，因此，可靠性备受重视。本文就是对可靠性的一种实现方法—自检测技术进行研究。本文的工作是分析传感器自检测原理的基础上，确定自检测的方案，利用有限元分析软件ANSYS进行结构仿真，利用MATLAB/SIMULINK对传感器进行系统级仿真，并对带有自检测功能的加速度传感器进行测试与分析。 采用直流电压作为驱动的自检测方式。通过ANSYS静态和动态仿真，得到结构的灵敏度为1.24nm/g，谐振频率为14kHz。利用MATLAB/SIMULINK对传感器进行系统级仿真，分析得到传感器的灵敏度约为35mV/g，自检测模型分析得到在自检测电压为3.2V时就可以产生1g的等效加速度信号。测试包括灵敏度、动态灵敏度、频响、稳定性、温漂在内常规参数的测试，以及传感器自检测功能验证的测试。经过测试，灵敏度为32mV/g，传感器的工作带宽为1500Hz。加载4~5V的自检测电压，产生1g的等效加速度。验证了直流自检测的可行性
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