抗振干涉仪的产生有效的解决了环境扰动尤其是振动对移相干涉测量的影响，抗振干涉系统需要选用短相干光源，本课题的开展是为抗振干涉系统选择光源时提供一种测试方法。 在实验前进行算法仿真，确定实验过程中采样间隔和采样长度等具体参数。利用乌氏干涉仪和光栅单色仪对LED的光谱进行测试，将实验结果进行比对，分析实验结果的准确性，并阐述了LED在测量平行平板光学均匀性方面的应用。在泰曼干涉仪上测试Na灯的光谱分布，计算谱线的精细结构。 研究半导体激光器操作模式与相干性的关系。在迈克尔逊干涉仪上搭建实验系统，改变室温、电流大小以及调制频率等实验条件，观察半导体激光器相干性的变化，计算光谱模式间隔、相对强度和宽度的改变。实验证明，高频调制输入电流可以改变半导体激光器的相干性，并可利用文中提到的方法测试光源的相干性数据。 将受调制的半导体激光器运用到抗振干涉系统中，得到四步移相干涉图、包裹相位图及面形分布数据，实现对被测波面的同步移相抗振干涉检测。