氧化锌(ZnO)是一种Ⅱ-Ⅵ族直接带隙半导体材料,在表面声波器件、太阳能电池、紫外探测器、LED、LD等领域有着广泛的应用。本论文采取了磁控溅射的方法制备了ZnO基薄膜体声波谐振器,研究了其电学特性和声学特性,并应用于声光相互作用的研究。　　本论文在对压电材料的分析中,介绍了有限元分析法的应用,对压电材料ZnO薄膜通过有限元法进行理论分析,利用matlab对理论分析进行仿真,讨论对比理论结果和仿真结果的差别,为压电薄膜的分析提供新的方法,也为后续的实验参数的设定提供了理论支撑。同时也研究ZnO-LiNbO3材料的声光相互作用,详细介绍了声光效应的工作原理,描述了声光效应的概念、衍射效率的概念等,介绍了声光互作用的分类方法,重点介绍和分析了布拉格衍射。　　实验过程中通过在声光晶体LiNbO3上蒸镀压电材料ZnO薄膜,将产生超声波部分和发生声光相互作用部分集成于ZnO-LiNbO3材料结构上。本论文的镀膜实验采用的方式是磁控溅射的方式,论文中对磁控溅射的过程进行了阐述,并通过台阶仪对镀膜质量进行了分析;同时对ZnO薄膜的电阻特性和声表面特性进行了测试,为后续的实验参数的改进提供了数据支撑。论文也对样品内部的声光相互作用进行了分析,创新性的提出了扫频差谱法确定发生布拉格衍射的声波频率,力矩中心法确定差谱中心点的算法,并从实验上验证了论文理论分析结果。