【摘 要】
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飞秒激光双光子微加工技术是利用材料对飞秒激光束在焦点局部区域发生的双光子吸收现象,并通过逐点扫描来实现微器件三维成型的加工技术,它是一种全新的微细加工技术。本文介
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飞秒激光双光子微加工技术是利用材料对飞秒激光束在焦点局部区域发生的双光子吸收现象,并通过逐点扫描来实现微器件三维成型的加工技术,它是一种全新的微细加工技术。本文介绍了飞秒激光双光子微纳加工技术的原理、特点和过程,描述了我们自行搭建的飞秒激光双光子微纳加工系统,然后我们对工艺参数进行优化,分析工艺参数如激光功率、覆盖率、曝光时间和物镜的数值孔径对加工器件质量的影响,得出比较理想的工艺参数。最后,我们用双光子微细加工系统成功地制作了一些微纳结构,如菲涅尔波带片,“井”字光栅结构,点阵结构,三维木堆光子晶体结构等。并巧妙的利用光学显微镜对菲涅尔波带片进行测试,得出各级焦点。实验表明,双光子微细加工技术是一种灵活的加工技术。
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