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随着微纳米科学技术的迅猛发展,微纳米材料和人们的生活与工作愈加息息相关。原子力显微镜(AFM)的引入极大了丰富了微纳加工的内容,其主要特点就是其加工头的有限刚度,并通过对加工力的控制实现了与材料的紧耦合,成为了纳米机械刻划加工的一种重要手段。但是由于原子力显微镜设计的根本目的是为了检测,施加在工件表面的力非常小,限制了其加工的范围。针对上述存在的问题,基于AFM力闭环原理本文研制了一套带有力反馈系统的微加工头,并利用该装置对不同材料进行了机械刻划实验的研究。具体内容如下:首先,设计了一套带有