气体传感器广泛应用于大气环境监测、企业安全生产监控、室内污染气体检测、疾病诊断等领域。在市场上种类众多的气体传感器中,以金属氧化物半导体材料为代表的半导体式气体传感器由于制造成本低、易于集成、灵敏度高等优势,引起了研究人员的广泛关注与研究。本论文主要从铟基半导体纳米材料制备及气敏性能测试、气体传感器器件信号优化两方面进行了研究,具体研究工作如下:(1)以异丙醇铟和浓盐酸为原料,利用溶胶凝胶法加高温煅烧的方式制备了纯InOCl纳米片材料,并且应用于气体检测领域。我们研究发现该材料对甲醛气体具有很好的气敏响应,在200℃的最佳工作温度条件下,50 ppm的甲醛响应为45,具有很好的选择性(将丙酮、乙醇、苯、甲苯作为对比气体);同时湿度对材料的气敏性能影响很大,相同浓度的甲醛气体,高湿度环境下(80%)响应仅为低湿度环境下(20%)的八分之一左右。材料具有高气敏性能的原因是含有丰富的氧空位缺陷。(2)以氯化铟和氨水为原料,利用沉淀法加高温煅烧的方式制备了高比表面积(128.9 m2·g-1)的氧化铟纳米材料。对不同煅烧温度获得的样品进行气敏测试,发现在浓度为50 ppm的甲醛测试气体中,300℃样品响应最高(～30),这是由于比表面积不同造成的,气体灵敏度与比表面积大小呈正相关。对材料进行不同气氛处理,发现氧气处理后的材料虽然比表面积变化不大,但是灵敏度却下降了,这可以归结为氧气充足的情况下材料本身的氧空位缺陷减少;而氢气处理后的材料比表面积下降明显,因此材料气敏性能也下降。(3)利用场效应晶体管(Field effect transistor,FET)放大电路对气体传感器信号进行优化。研究了 FET放大电路的放大倍数与测量电压之间的关系,在2.5～10Ⅴ范围内,相应放大倍数为4～11倍。将电路进一步优化,制作了以甲苯为当量总挥发性有机物(Total volatile organic compounds,TVOCs)测试仪,并对其实际应用进行了初步探索。