半导体器件的内部噪声是制约器件灵敏度和检测精度的一个关键性指标,同时也是表征器件质量和可靠性的一个重要的敏感参数。现有的测试系统存在一定的缺陷和不足:测试系统运作成本高、灵活性低;原有的器件可靠性等级评判标准不够准确且会引入人为误差。针对目前半导体器件可靠性筛选领域内存在的不足,结合爆裂噪声的特点以及小波分析的优势,采用了小波检测爆裂噪声方法,并运用LabVIEW软件带有的小波工具包编写了小波检测程序,实现准确捕捉爆裂噪声的功能。提出了采用遗传算法的参数估计方法,有效估计各种噪声参数A、B、C i、foi及N,通过拟和结果可见参数估计准确、曲线吻合效果良好,证明通过该算法估计参数可以得到准确的噪声谱分析结果。在原有的利用噪声谱进行半导体器件可靠性筛选方法的基础上,本论文构建了一套基于LabVIEW的OCD低频噪声的采集、测试与分析系统。该系统除了可以实现控制采集过程、分析噪声成分功能外,还增加了对采集获得的噪声数据进行实时显示、文档保存、形成数据库和自动生成报告等功能。