在真空紫外和软X射线(XUV)光栅光谱仪系统的设计和优化中，尤其在掠入射或接收角较大的情况下，像差是影响仪器分辨率的重要因素。目前，国际上存在的XUV平面对称光学系统的像差理论大多针对单元件系统，而实际应用中，XUV光学装置都是由若干元件组合而成。在多元件轴对称光学系统中，由于像差对孔径光线坐标的影响较小，因此孔径光线坐标通常都采用线性近似处理。但对于平面对称光学系统而言，光线是斜入射的，因此，像差对光线孔径坐标的影响通常比较严重；另一方面，在计算多元件系统的波像差时，如果孔径光线坐标采用线性近似，则系统波像差具有简单的表达形式，所以我们有必要研究孔径光线线性近似下像差精度的有效性。 本文具体研究内容及结果如下： 1、在平面对称衍射理论的基础上考虑折射率的影响，推导了平面对称折射光学系统的像差，结果使得反射、衍射、折射光学系统的像差系数可以用同一组公式表达；当入瞳沿光轴偏离光学元件表面时，修正了单元件波像差系数以及像差系数。 2、在计算双元件平面对称光学系统的波像差时，采用拟合法得到孔径光线在两块元件之间的三阶传输方程；结合光线追迹解析法，推导出精确的像差系数表达式，并参考单元件波像差系数，将像差表达式转换成双元件波像差形式。最后分析了像差式的结果，并将其总结为两部分：1）孔径光线线性近似下的像差系数；2）孔径光线高阶形式下的像差系数修正项（包括离焦部分的高阶修正项）。 3、结合光线追迹程序SHADOW和像差表达式结果对光栅光谱仪模型进行数值验证。结果表明：1）在离焦量比较小的情况时，孔径光线线性近似下的像差精度足够高；2）即使在大离焦量时，像差系数离焦部分的高阶修正项也可以忽略不计；3）在掠入射下子午方向修正项对像差精度的影响比弧矢方向要严重。