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传统微机械加速度计精度无法满足高精度领域的需求,而新兴的微光学加速度计精度有了较大提高,但是动态范围过小,限制了其应用范围,因此本文设计了一套基于MOEMS加速度计的闭环反馈控制方案,在保证高灵敏度的前提下尽量提高其动态范围。本文首先介绍了课题研究的MOEMS加速度计的开环系统结构和工作原理,然后给出了开环模式下的系统输出结果,和实验装置改进以前的开环实验结果对比得知系统灵敏度得到了较大的提高,横向串扰也到了有效的抑制。之后分析了开环系统灵敏度和动态范围的矛盾,并给出了MOEMS加速度计闭环结构的方