环境问题和食品安全关系到每个人的健康,有关机构也逐渐加大了监管力度,但是大多数有害物质都是微量的,对检测手段要求较高。常规的检测方法或检测灵敏度低,或操作复杂,或引入其他物质,而表面增强拉曼散射(SERS)技术的提出,打破了检测技术的瓶颈,这种方法因其操作简单、灵敏度高以及能够实现无损检测而被广泛应用,因此寻求有效改善SERS性能的途径具有积极意义。SERS技术中起重要作用的是其基底,本文选择金属辅助化学刻蚀(MACE)法制备硅纳米线(Si NWs)结构,随后用银纳米颗粒修饰其表面,形成银修饰硅纳米线(Ag@Si NWs)复合结构,最后研究Si NWs各形态参数对Ag@Si NWs复合基底SERS性能的影响。首先通过浸镀法在硅表面沉积银纳米颗粒,表征结果可以看出:随着沉积时间的增加,银纳米颗粒的尺寸逐渐增大;高温退火处理可以使银纳米颗粒的分布更均匀。其次以银纳米颗粒为催化剂,采用MACE法制备Si NWs结构,研究发现刻蚀液配比、刻蚀时间、刻蚀温度和硅基底晶向等因素均会影响Si NWs结构的形貌,通过调节这些因素,可以得到线高度、线直径、线间距以及线方向不同的Si NWs结构。最后以不同形貌的Si NWs结构为基础,采用磁控溅射法在其表面修饰相同厚度的银纳米颗粒,形成Ag@Si NWs复合结构,并对10-5 M R6G溶液的拉曼信号进行检测,发现线直径和线间距对基底的SERS性能影响较大,因此调节线直径与线间距比值是有效改善Ag@Si NWs基底SERS性能的一种途径。