基于表面处理的软磁合金磁性能研究

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本文采用Fe73.5Cu3Nb1Si13.5B9和Fe67Co18Si11B4两种铁基非晶软磁合金薄带材料为实验材料,采用物理抛光和退火两种不同的工艺,对比处理前后其磁性能变化,有效地改善了磁导率,磁损耗,巨磁阻抗等磁学参数,系统地考量了表面抛光以及退火对铁基非晶软磁合金磁性能的影响。本文的主要研究内容如下:1.对Fe73.5Cu3Nb1Si13.5B9和Fe67Co18Si11B4两种非晶带材进行表面抛光,制备出不同抛光厚度的非晶带材,用HP4294A阻抗分析仪测量并计算出样品的磁学参数,发现抛光后样品的磁性能显著提高,通过原子力显微镜(AFM)观察材料的微观结构的变化发现粗糙度是样品磁性能提高的一个重要因素。2.对Fe73.5Cu3Nb1Si13.5B9非晶合金进行460℃退火处理,测量同一退火温度下不同抛光厚度的带材其磁导率和磁损耗的变化。实验表明,抛光后的样品经去应力退火后,磁性能得到明显的改善。3.对Fe73.5Cu3Nb1Si13.5B9非晶带材进行不同温度下的退火处理,发现三种退火温度中570℃退火后的样品磁性能最好,XRD分析以及AFM表明,晶化物的析出以及粗糙度的变化是导致退火后磁性能提升的一个重要原因。通过本文的研究,我们发现表面抛光能提高软磁非晶带材的初始磁导率,这是由于软磁非晶带材制备后的原子排列密度不同以及抛光后样品表面粗糙度的改变导致的。经过退火处理的非晶带材初始磁导率有了质的提升,主要是由于材料的应力得到了释放,并且析出了对提高磁性能有帮助的晶化物,晶化物的析出也导致了表面粗糙度的降低。经过抛光和退火处理后的非晶带材巨磁阻抗效应也有了明显的提升,主要是由于表面粗糙度的改变。本文在基于物理抛光的基础上研究材料磁性能的变化,为软磁器件领域的研究和发展提供了新的方法。
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