该文利用磁控溅射法在PET基底上制备了碳氟膜,利用扫描电镜观察了不同功率和压力对碳氟膜表达形貌的影响发现功率提高得碳氟膜颗粒分布均匀,接合更加紧密,而提高压力,碳氟膜更加细密,表面更加平滑;系统研究了碳氟膜表面结构随功率和压力的变化规律,氟碳比随功率的提高而减小,随压力的增加而增大,功率对氟碳比的影响较压力的影响大;同时红外光谱和紫外吸收光谱的研究证明了碳氟膜是无定形的,与PET基底通过化学键结合在一起的,碳氟膜结构中存在双键、三键及共轭多键.首次根据颜色光学理论研究了碳氟膜的泛黄问题,分析了功率、压力对泛黄程度的影响,发现泛黄程度随着溅射功率的增加而增加,随着工作压力的增加而减小;磁控溅射制备的碳氟膜主要呈现黄色,略带有红色调.首次研究了PET基底上碳氟膜的时间效应问题,发现碳氟膜的结构随在空气中放置时间的增长而发生细微变化;碳氟膜的表面极性增加,拒水性能降低.