快刀伺服能够用于精密微结构表面的高效、低成本加工。快刀伺服加工技术的一个关键点是设计满足加工需求的快刀伺服系统,即是设计具有较高的精度、快速响应能力以及良好的指令跟踪性能的快刀伺服系统。需要从快刀伺服系统的设计分析出发,研究影响快刀伺服系统性能的关键影响因素和优化系统设计的方法。基于以上需求,本文分析了快刀伺服原型系统中影响系统性能的关键因素；对其中的关键问题提出相应的解决办法；并通过仿真和实验验证了所提方法。工作内容包括：(1)在分析国内外快刀伺服系统的相关研究基础上,根据其工作原理和性能需求,提出快刀伺服原型系统的原理方案；在原理性方案的基础上建立了压电型快速伺服刀架的模型,并对模型进行了仿真研究,为实验平台的设计构建提供理论支持。(2)根据原理性方案设计构建了快刀伺服原型实验平台；利用原型实验平台展开实验测试和分析。实验结果表明原型平台具有良好的工作性能,位移分辨率优于4nm最大行程达到60.06μm,在150Hz时的行程达到22.08μm,满足设计要求。(3)针对实验测试结果中发现的问题,对系统模型进行了修正。将接触特性纳入模型之后,模型仿真结果与实验结果相符。提出了相移迟滞模型描述压电陶瓷的动态迟滞特性,建模的最大相对误差小于1.5%,利用相移迟滞模型对动态迟滞曲线进行线性化修正,修正后的线性相关系数在0.9992以上。(4)结合控制的需求,基于PID控制算法,将模型前馈和零相差前馈算法引入到跟踪控制算法中,并通过MATLAB(?)程序进行控制仿真。仿真和实验验证的结果表明零相差前馈控制算法具有较好的跟踪控制性能。本文通过上述理论、仿真与实验相结合的研究,分析了快刀伺服刀架的关键参数对系统性能的影响规律；提出了一种基于相移特性的迟滞模型与补偿方法；基于零相差控制原理给出了一种减小跟踪误差的控制算法。为快刀伺服工程样机的研制提供了技术参考。