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光波导结构在现代光通信领域里具有十分重要的用途.在该论文的工作中,我们用轻离子和重离子注入的方法,成功的在许多新型晶体上形成了光波导结构,并研究了波导区的折射率分布情况.该文报道了MeV Ni<+>离子注入石英晶体形成光波导的新结果,并与He<+>注入石英波导相比较,分析了两种波导暗模特性和折射率分布的差别和产生这些差别的可能的原因.我们报道了MeV P<+>离子注入KTiOPO<,4>（KTP）晶体形成的平面光波导,观察了波导的暗模特性,用RCM拟合得到了波导在不同条件处理后的折射率分布情况,用TRIM’98程序模拟了离子注入过程,得到了核能量损失随穿透深度的关系,并与折射率分布做了比较.我们用SIMS技术测量了MeV Ni离子注入到LiNbO<,3>和KTP晶体中的浓度分布,并将得到的分布分别与Pearson Ⅳ和TRIM90模拟的结果做了比较,讨论了Ni浓度分布与Ni离子注入形成的LiNbO<,3>和KTP平面光波导的折射率分布之间的关系.