【摘 要】
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本文采用射频磁控溅射的方法在多种衬底材料上沉积了高品质的VO2薄膜，利用XRD分析了VO2薄膜的微结构，利用傅立叶变换红外光谱仪对热色VO2薄膜的光学性质进行了研究，发现特定温度
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本文采用射频磁控溅射的方法在多种衬底材料上沉积了高品质的VO2薄膜，利用XRD分析了VO2薄膜的微结构，利用傅立叶变换红外光谱仪对热色VO2薄膜的光学性质进行了研究，发现特定温度下VO2薄膜发生相变，其光学性质随之发生突变；探索了非理想配比对VO2薄膜的喇曼光谱的影响，讨论了非理想配比导致VO2薄膜喇曼光谱变化的原因；还对PcNi／VO2复合膜的热色性进行了研究，通过对比分析发现，PcNi膜在1.5-5.5μm波段对VO2膜有增透作用，PcNi／VO2复合膜相对于VO2膜的热色性和相变温度都没有改变。
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