【摘 要】
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一晶圆厂制定了空气监测计划,目的是确定室外空气质量特性及其对生产工艺的影响.该厂的技术是90nm的技术,因此悬浮分子污染物(AMC),特别是酸性污染受到特别的关注.鉴定空气质
【机 构】
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Purafil,Inc.(美)STMicroelectronics,(新加坡)
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一晶圆厂制定了空气监测计划,目的是确定室外空气质量特性及其对生产工艺的影响.该厂的技术是90nm的技术,因此悬浮分子污染物(AMC),特别是酸性污染受到特别的关注.鉴定空气质量所采用的技术包括有撞击器离子分析,被动和实时反应监测和石蕊试纸颜色识别等.对各种监测技术过去取得的数据进行了评估和比较,测定其适用性.该监测计划得到的数据还提供了能够对安装在补充风处理器中的化学过滤器除掉AMC的能力进行评估的机会.
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