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介绍了辉光放电发射光谱中一种新的表面分析校正方法-层模式，该方法可以利用已知含量和厚度的涂层样品来建立一个表面分析工作曲线，用于分析类似的涂镀层样品。使用数学推导对该方法的原理进行了说明，利用该方法建立了多个工作曲线，分析了相应的涂镀层样品(玻璃上的金属涂层、铁基上的铜镀层、镀锌板等)，得到了较为满意的结果。和使用传统溅射率模式建立的工作曲线进行了对比，层模式在镀层过渡层、交界处的信息提供上有所欠缺。