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金属或合金表面的导电或非导体镀层，对改善材料的性能，降低材料的损耗具有很大的作用。如在钢表面镀一层TiN，钢的抗磨损性能会得到提升。探讨各种元素在基体材料表面的分布和渗透行为，对新材料的研究具有十分重要的意义。本文运用直流辉光放电原子发射光谱对镀TiN和镀锌钢板进行了深度轮廓分析。放电电压、放电功率和压力对深度轮廓分析的影响进行了研究，在功率为24．5～28W和500～1000Pa放电压力下，可以得到每层4μmTiN的深度分辨率，并且Ti的谱线强度相对较高。结果表明在相对较低的放电功率和压力下，深度分辩较