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利用强聚焦飞秒激光可以诱导材料发生显著的双光子激发,进而可以实现复杂三维结构的微纳米加工.本文阐述了双光子激发的原理和飞秒激光三维加工的技术特点.详细介绍了自行研制的飞秒双光子微细加工系统的组成和性能.在优化工艺参数的基础上进行了三维微结构的加工实验,实现了可动的三维微系统的一次成型.
复杂结构的飞秒激光双光子微细加工
【摘 要】
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利用强聚焦飞秒激光可以诱导材料发生显著的双光子激发,进而可以实现复杂三维结构的微纳米加工.本文阐述了双光子激发的原理和飞秒激光三维加工的技术特点.详细介绍了自行研
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系(合肥)
【出 处】
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2003年中国机械工程学会年会
【发表日期】
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2003年期
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